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精密仪器种类繁多、结构各异。对于用于测量的精密仪器而言,可将其结构分为基准、感受转换、转换放大传输、瞄准/读数、数据处理、显示记录、驱动控制、机械结构等八大功能部件。但并不是说一台精密仪器中必须包含上述八大功能部件,而是应根据仪器功能的要求有所选择。


基准器件的种类很多,如用于几何量(长度和角度)测量的标准器件:量块、精密测量丝杠、线纹尺、度盘、多面棱体、多齿分度盘、光栅尺(盘)、磁栅尺(盘)、感应同步器、光波等。对于复杂参数,有渐开线样板、表面粗糙度样板等标准件,还有提供标准运动的标准圆运动、渐开线运动和齿轮运动装置。此外还有标准硬度块、频率计,以及时间、照度、流量、色度、激光参数、温度、测力、称重等标准。可根据需要选取。


感受转换部件感受被测量,拾取原始信号以便进一步转换、处理和分析。其精度直接影响整个仪器的精度。

有的仪器的感受转换部件仅起感受原始信号的作用,有的同时还进行一次信号的转换。感受转换部件有两大类:一类为接触式的,如各种机械式探头;一类为非接触式的,如气动非接触测头、光学探头、红外线、涡流测头、拾音器等。


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